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  • RGA 系列薄型高速高重復性直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

    RGA 薄型高速旋轉(zhuǎn)臺非常適合需要低質(zhì)量和大孔徑的工業(yè)應用,但需要快速和精確地旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤等樣品架。 快速旋轉(zhuǎn)、薄型、大光圈 高重復性 低擺動和低偏心率 高扭矩和高加速度 全鋼結構,具有高剛度和熱穩(wěn)定性 即插即用 ESP 兼容性

    型號:
    更新日期:2024-09-25
  • RGV 系列高速精密旋轉(zhuǎn)臺

    RGV 可用于半導體晶片檢測、微型機器人、精密計量和運動模擬器等應用,特別適用于 MEMS、陀螺儀和加速度計測試。 直接驅(qū)動可以實現(xiàn)高達 1000 deg/s 的優(yōu)異速度,而且可靠性高。 大直徑、鋼制滾珠軸承,剛度高、擺動低以及載重能力高。 精密玻璃標度編碼器可以實現(xiàn)高位置重復性、MIM 和高精度。 高扭矩直流無刷電機,最大扭矩為 112 Nm。

    型號:
    更新日期:2024-09-25
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