產(chǎn)品分類PRODUCT CLASSIFICATION
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產(chǎn)品詳細(xì)頁(yè)
RGA 系列薄型高速高重復(fù)性直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
簡(jiǎn)要描述：RGA 薄型高速旋轉(zhuǎn)臺(tái)非常適合需要低質(zhì)量和大孔徑的工業(yè)應(yīng)用，但需要快速和精確地旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤等樣品架。快速旋轉(zhuǎn)、薄型、大光圈高重復(fù)性低擺動(dòng)和低偏心率高扭矩和高加速度全鋼結(jié)構(gòu)，具有高剛度和熱穩(wěn)定性即插即用 ESP 兼容性
產(chǎn)品型號(hào)：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間：2024-09-25
- 訪 問(wèn) 量：566
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | Newport/美國(guó) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
產(chǎn)品型號(hào)
| 型號(hào) | 規(guī)格 |
| RGA150 | 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)，高速，薄款設(shè)計(jì) |
| RGA150MAP | 電動(dòng)旋轉(zhuǎn)位移臺(tái)，高速，薄款設(shè)計(jì) |
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號(hào) | RGA150 | RGA150MAP |
| 角度范圍 | 360 ° | 360 ° |
| 最大速度 | 1800 °/s | 1800 °/s |
| 最小位移增量 | 0.01 mdeg | 0.01 mdeg |
| 峰值驅(qū)動(dòng)扭矩 | 11 Nm | 11 Nm |
| 中心負(fù)載能力 | 50 N | 50 N |
| 雙向重復(fù)精度，典型值 | ±0.0975 mdeg | ±0.0975 mdeg |
| 精度，典型值 | ±4 mdeg | |
| 精度，保證值 | ±8 mdeg | ±1 mdeg |
| 擺動(dòng)，典型值 | ±12 µrad | ±12 µrad |
| 擺動(dòng)，保證值 | ±26 µrad | ±26 µrad |
| 偏心率，典型值 | ±0.5 µm | ±0.5 µm |
| 偏心率，保證值 | ±1 µm | ±1 µm |
| 孔徑 | 90 mm | 90 mm |
| MTBF | 20,000 hours @ 30% duty cycle | 20,000 hours @ 30 % duty cycle |
| 電纜長(zhǎng)度 | 5 m | 5 m |
| 重量 | 4.5 kg | 4.5 kg |
