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產(chǎn)品詳細(xì)頁
VP-5ZA 精密垂直線性位移臺(tái)
簡(jiǎn)要描述：VP-5ZA 精密垂直線性位移臺(tái)是一種超薄型精密垂直位移臺(tái)，非常適合于半導(dǎo)體晶片檢測(cè)、光子測(cè)試和封裝、微型組裝、精密計(jì)量和表面檢測(cè)系統(tǒng)。VP-5ZA 基于 VP-25X 線性位移臺(tái)中使用的已經(jīng)通過行業(yè)驗(yàn)證的技術(shù)，提供高可靠性運(yùn)動(dòng)，具有納米靈敏度、高響應(yīng)性和直線軌跡。垂直運(yùn)動(dòng)的精度為 4.8 mm，具有傾斜平面概念超薄型設(shè)計(jì)，采用簡(jiǎn)化的 XYZ 配置
產(chǎn)品型號(hào)：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間：2024-09-25
- 訪 問 量：467
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | Newport/美國(guó) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
VP-5ZA 精密垂直線性位移臺(tái)產(chǎn)品規(guī)格
- 行程范圍4.8 mm
- 最小位移增量60 nm
- 最大速度5 mm/s
- 中心負(fù)載能力50 N
- 精度，典型值±0.6 µm
- 精度，保證值±1.5 µm
- 雙向重復(fù)精度，典型值±0.10 µm
- 雙向重復(fù)精度，保證值±0.25 µm
- 單向重復(fù)精度，典型值±0.06 µm
- 單向重復(fù)精度，保證值±0.15 µm
- 驅(qū)動(dòng)螺距1 mm
- 減速輪5:1
- 編碼器分辨率0.0196 µm
- 限位開關(guān)Optical
- 原點(diǎn)Optical, centered
- 原點(diǎn)重復(fù)精度±0.1 µm
- 連接器DB25 Male
- 俯仰，典型值±30 µrad
- 俯仰，保證值±50 µrad
- 俯仰順應(yīng)性45 µrad/Nm
- 滾轉(zhuǎn)，典型值±30 µrad
- 滾轉(zhuǎn)，保證值±100 µrad
- 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性50 µrad/Nm
- 偏擺，典型值±30 µrad
- 偏擺，保證值±50 µrad
- 偏擺順應(yīng)性10 µrad/Nm
- 電纜長(zhǎng)度1.5 m
- 螺紋類型4-40 and 8-32 or M3 and M4 (M- version)
- 重量2.4 kg
- MTBF20,000 h (25% load, 10% duty cycle)
- RoHSCompliant
VP-5ZA 精密垂直線性位移臺(tái)特征
構(gòu)建薄型 XYZ 平移臺(tái)疊堆
超薄精密 XYZ 系統(tǒng)由兩個(gè)VP-25XA 線性平移臺(tái)和一個(gè) VP-5ZA 垂直平移臺(tái)組成。與傳統(tǒng)平移臺(tái)疊堆相比，該解決方案提供了一種超薄替代方案，可從任何方向輕松接近負(fù)載。
保持軸承上的有效載荷
VP-5ZA 的提升方法可實(shí)現(xiàn)有效載荷在軸承上定心，并靠近位置反饋。這樣可以避免可引起角變形的任何懸臂負(fù)載，并產(chǎn)生具有更高載重能力的更精確的運(yùn)動(dòng)。
VP-5ZA平移臺(tái)安裝在ILS高性能中程行程線性平臺(tái)的頂部，可選的VP-BP底板。
高效的傾斜平面設(shè)計(jì)
使用兩個(gè)楔形的布置可產(chǎn)生純垂直運(yùn)動(dòng)，兩個(gè)楔形通過傾斜的循環(huán)滾珠軸承和兩對(duì)垂直安裝的雙列線性滾珠軸承滑塊移動(dòng)通過彼此。
廣泛的平移臺(tái)兼容性
頂板上的螺紋孔圖案提供了與VP-25X 線性平移臺(tái)和其他 Newport 定位產(chǎn)品的兼容性。還提供用于晶片卡盤的標(biāo)準(zhǔn) 3 點(diǎn)安裝接口。要將 VP-5ZA 安裝到光學(xué)平臺(tái)或ILS 線性平移臺(tái)，請(qǐng)使用可選的VP-BP底座?？梢允褂闷筋^螺絲刀方便地進(jìn)行手動(dòng)垂直調(diào)整。
高轉(zhuǎn)矩直流電機(jī)
一種高效、高轉(zhuǎn)矩直流電機(jī)，具有精密預(yù)裝長(zhǎng)使用壽命的滾珠絲杠，可確保高速運(yùn)動(dòng)并縮短穩(wěn)定時(shí)間。高分辨率線性刻度直接連接到移動(dòng)軌道，消除了所有傳動(dòng)系統(tǒng)引起的運(yùn)動(dòng)誤差。此外，節(jié)省空間的固定讀取頭設(shè)計(jì)避免了任何電纜移動(dòng)。結(jié)果是一個(gè)堅(jiān)固耐用的平移臺(tái)，MTBF 為 20000 小時(shí)。
Compatible Controllers
Compatible motion controllers for the VP-5ZA stage are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
●ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
●SMC100CC Single Axis DC Motor Controller.
See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.
