產品介紹

XM 超精密線性電機平移臺產品規(guī)格

型號
	XMS50-S	XMS100-S	XMS160-S	XML210-S	XML350-S
行程范圍	50 mm	100 mm	160 mm	210 mm	350 mm
最大速度	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s	300 mm/s
中心負載能力	100 N	100 N	100 N	300 N	300 N
精度，典型值	±0.2 µm	±0.3 µm	±0.5 µm	±0.5 µm	±0.5 µm
精度，保證值	±0.75 µm	±0.75 µm	±0.75 µm	±1.5 µm	±1.5 µm
最小位移增量 2	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm	1 nm
雙向重復精度，典型值	±0.030 µm	±0.030 µm	±0.030 µm	±0.032 µm	±0.035 µm
雙向重復精度，保證值	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm	±0.040 µm
連續(xù)運動力 3	25 N	25 N	25 N	50 N	50 N
峰值驅動力	100 N	100 N	100 N	240 N	240 N
偏擺，典型值	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad	±10 µrad
偏擺，保證值	±25 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±40 µrad	±40 µrad
俯仰，典型值	±10 µrad	±12 µrad	±12 µrad	±15 µrad	±20 µrad
俯仰，保證值	±25 µrad	±25 µrad	±25 µrad	±50 µrad	±50 µrad
平面度，典型值（保證值） 4	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.75 (±1.50) µm	±0.75 (±1.50) µm
直線度典型值（保證值） 5	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.37 (±0.75) µm	±0.75 (±1.50) µm	±0.75 (±1.50) µm
俯仰順應性	6.0 µrad/Nm	2.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	0.7 µrad/Nm
偏擺順應性	8.0 µrad/Nm	3.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	1.0 µrad/Nm	0.2 µrad/Nm
滾轉順應性	3.5 µrad/Nm	2.0 µrad/Nm	1.5 µrad/Nm	0.5 µrad/Nm	0.1 µrad/Nm
原點重復精度	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm	±0.025 µm
重量	2.5 kg	3.5 kg	4.5 kg	13 kg	22 kg
MTBF	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)	20,000 h (25% load, 30% duty cycle)

注釋:

1. 最大速度取決于驅動器。 聯(lián)系Newport以獲得更多信息。

2. 最小增量運動（MIM） 取決于驅動器類型和環(huán)境，有關更多信息，請查閱數(shù)據(jù)表。

3. 連續(xù)運動力與驅動器相關。聯(lián)系Newport 以了解更多信息。

4. 行程中部80%。要得到弧秒單位，請將 µrad 值除以 4.8。

XM 超精密線性電機平移臺特征

適用于激光加工應用

XM平移臺是激光微加工、標記、切割和納米圖案形成等應用的理想平移臺。此視頻顯示兩個XM平移臺堆疊在由NewportXPS控制器驅動的2軸(XY)系統(tǒng)中，用于與振鏡掃描器同步的復雜、平滑、超高精度運動。

3軸超精密

XM系列直接驅動平移臺為苛刻的應用提供超高精度運動。此視頻顯示由兩個XM平移臺和一個xms-v垂直平移臺組成的組件，該組件提供3個軸(XYZ)的運動，可用于聚焦、傳感器測試/校準、直接激光光刻和精密組裝等應用。

可以通過命令控制 1 nm 位移步長

超精密設計和 Heidenhain 光柵尺使 XM 線性平移臺系列能夠在受控環(huán)境中通過一致的命令控制 1 nm MIM。

XM-S平移臺能夠在受控環(huán)境中使用XPS-D控制器進行1-nm增量運動。

創(chuàng)新的中心驅動、無鐵、直接驅動線性電機

與螺釘驅動平移臺不同，XM采用中心驅動、無鐵芯線性電機作為驅動元件。由于線性電機是無摩擦的直接驅動設備，因此沒有限制運動性能的側隙或滯后、卷繞或靜摩擦。線性電機驅動器還具有更高的速度、加速度和系統(tǒng)響應性的優(yōu)點，同時沒有電機電刷或驅動螺釘?shù)哪p。超大、無鐵芯電機線圈能確保零齒槽，實現(xiàn)超平滑速度控制，與其他平移臺設計相比，具有更高的效率。這將導致產生的熱量顯著減少，發(fā)熱通常是超精密運動應用的主要限制因素。為了進一步改善熱管理及其對平移臺性能的影響，XM 平移臺還具有一個優(yōu)點，其磁軌和平移臺托架之間采用了成熟的全程去耦機制。

XM平移臺在連續(xù)掃描或激光加工應用中提供出色的速度穩(wěn)定性。 顯示的是使用干涉儀以1 kHz的速率收集的XMS50的速度。

配套的抗蠕變交叉滾子軸承可實現(xiàn)超高精密控制

為了確保精確的軌跡控制，XM平移臺具有配套的同類最佳防蠕動式交叉滾子軸承對。這些軸承中沒有再循環(huán)元件，因此可以為苛刻的掃描和檢測系統(tǒng)提供充足的無波紋運動。而且，齒輪保持架會防止軸承罩移位，其他直線軸承產品可能出現(xiàn)此類移位。

線性誤差校正后XMS50-S平移臺的精度，當級以100毫米/秒的速度運動時，以10 khz的速率動態(tài)測量。

面向最佳 XY 組件的 T 形托架設計

在 XM 上使用的 T 形托架為精密 XY 組件提供了最佳解決方案，同時不會影響平移臺預載荷。與具有 C 形托架設計的平移臺相比，它更加堅固，并能適應非理想的安裝條件。

具有超表面平整度的花崗巖底座

表面平整度是影響運動系統(tǒng)定位精度和可重復定位精度的主要因素。經(jīng)過研磨的花崗巖板是市面上可以買到的最平坦表面之一?；◢弾r具有緊密的平面度公差和較高的硬度，使其成為補充 Newport 超精密線性電機 XM 系列平移臺的必然選擇。GB 系列花崗巖底座采用 3 點安裝，可安裝在非平面平臺上。邊緣手柄可用于處理底座以及將底座定位在工作表面上。

誤差顯示服務

對于苛刻的定位應用，Newport提供微定位校準服務。當我們的XPS高級運動控制系統(tǒng)發(fā)出指令時，我們將創(chuàng)建、實施和驗證電子補償過程，從而提高 Newport XM 平移臺的絕對位置精度。此外，還可以使用多軸微定位校準服務。 測試在20.0±0.2℃下進行。 您的平移臺將提供校準證書，也可根據(jù)要求提供實際數(shù)據(jù)。

用于超可重復移動的高精密線性玻璃標尺

高精密線性標尺提供了精確的位置反饋。該低熱膨脹標尺精確對準并安裝在平移臺中心，將溫度變化對平移臺的可重復定位性和定位精度的影響降至很低。編碼器信號由具有亞納米分辨率和小于 1 nm 噪聲的 Newport XPS 運動控制器進行插值，從而實現(xiàn)出色的定位靈敏度和穩(wěn)定性。絕對原點位置和極限信號集成到編碼器標尺上，無需任何其他電子或機械結構，便可提高可靠性和精度。

通過精密制造實現(xiàn)超高性能

XM平移臺是由應力消除的高強度鋁加工而成，能確保長期的強度和穩(wěn)定性。所有關鍵的平移臺表面都進行多次加工，然后在嚴格的溫度和質量控制下進行精密磨削，以進一步提高整體性能和精度。

節(jié)省空間的高可靠性設計

所有 XM 平移臺電子設備都固定到穩(wěn)定的底座，因此平移臺內部沒有移動電纜。這種設計非常緊湊，并具有出色的可靠性和安全性。節(jié)省空間的固定讀頭設計避免了在平移臺內部添加移動電纜，并加強了 XM 平移臺的穩(wěn)健性和可靠性，例如將 MTBF 提高到 20,000 小時。

免費提供計量報告

Newport保證按照ASME B5.57和ISO 230-2標準測量和記錄的規(guī)范值。典型性能值是保證規(guī)格的兩倍。

XM系列平移臺負載特性

Compatible Controllers

Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:

●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.

●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6  or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.

See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.